无尘室是一个人造的环境,也是指无尘室里面所带的尘埃是远远低于一个一般的环境的。无尘室的建立在,的产业发展,加速了产业结构的变革二十一世纪的的今天的必要性也是在提高的。由于现在商品质量的高要求,还有就是尘埃和温度湿度对产品的威胁的情况下,无尘室的要求也日益增加,因此,无尘室内的材料也是相当重要的。随着集成电路技术的增加,在净化工程当中,无尘室的洁净度的要求也是越来越高的,就算在工业上,小于0.1微米的策划乃也会影响产品的生产和运行。
无尘车间也是可以说是无尘室,是指字将空气中的微粒子,有害空气,有害物质等一些污染物,还有温度湿度,压力控制在一定范围内的一个特设的房间内。不管是在外界的空气的条件如何变化,室内都要维持原先设定的洁净度,温度湿度的一些特性。而无尘车间就是为了控制产品所接触的大气的洁净度和温度湿度,让产品处在一个良好的环境当中生产制造。
生产工艺对温度和湿度无特殊要求时,以穿着洁净工作服不产生不舒服感为宜。空气洁净度100
级、10000 级区域一般控制温度为20~24℃,相对湿度为45%~60%。100000 级区域一般控制温度为18~
28℃,相对湿度为50%~65%。
(2)生产工艺对温度和湿度有特殊要求时,应根据工艺要求确定。
第2.2.4条规定“洁净室内应保持一定的新鲜空气量,其数值应取下列风量中的至大值”:
(1)非单向流洁净室总送风量的10%~30%,单向流洁净室总送风量的2%~4% 。
(2)补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量。
(3)保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
第2.2.5条规定“洁净室必须维持一定的正压。不同空气洁净度的洁净区之间以及洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa,洁净区与室外的静压差不应小于10Pa。”